视觉解决方案

晶圆检测方案

硅片检测方案深圳SPOTECK科技有限公司,SPOTECK一直专注于机器视觉检测了13年。

有很多的测试情况下,应用领域广,免费取样,测试程序的开发,快速出站。

1.内容及测试的要求

测量工件面积:

外观与样品的尺寸检测长,1.43毫米在宽度和1.65毫米在高度1.44mm

检测内容:损害,裂纹,气孔,镍层差

1:底部阳性检出外观

2:侧阳性检出外观

3:侧阳性检出外观

4:侧阳性检出外观

5:侧阳性检出外观

6:顶部阳性检出外观

注:以上检测项目必须清晰可见下的图像来检测。

检测效率:每分钟250-350件(根据样品进给速度)。

工作分工:根据检测内容细分的检测步骤。

II。设备组成及各大院校

总体构成:尺寸:900 * 800 *1850毫米

型号:SP_T300

1:SPOTECK视觉检测软件

2:工业计算机

3:显示19英寸

4:工业摄像机:6台,1个底部4侧和1个顶部。

5:工业镜头:6 FA工业镜头

6:专业的玻璃盘

7:电磁阀

8:减速机

9:振动柜

10:送料设备(振动盘,受到直接冲击,控制器)

二.1:设备外观的3-d立体

3:1的底部正检测方法

底层测试精细产品分析图表:OK

3:1的底部正检测方法

底部有缺陷的产品的分析图(裂变):NG

3:1的底部正检测方法

底部有缺陷的产品分析图(坏镍层):NG

3:2侧正面光检测方法

优良的产品为侧方检测的分析图表:OK

3:2侧正面光检测方法

侧的检测缺陷的产品分析图(断裂):NG

3:2侧正面光检测方法

顶部有缺陷的产品的分析图(气孔):NG

3:3方正面光检测方法

优良的产品为侧方检测的分析图表:OK

3:3方正面光检测方法

侧的检测缺陷的产品分析图(断裂):NG

3:3方正面光检测方法

顶部有缺陷的产品的分析图(气孔):NG

IV。系统安装要求:

设备放置检验空间:在管道下侧单独安装SP视觉检测系统,既要保证有足够的空间来安装设备。

环境温度:0-50摄氏度;

空气湿度:低于90%RH;

电子干扰:用更少的电子干扰设备提供。

电源:220V,50Hz的交流电,低于1KVA功耗,空气压力0.35-0.7MPa

以上是晶片检测方案,检测的主要内容有破损,裂纹,孔,镍层差和大小。